技术创新
Innovation
TAC-ONTM(非晶钻石膜) 薄膜具有稳定的钻石结构,可形成钻石成分高达 88%的sp3 斜四方键合。该膜层具有低温沉积、超高硬度，超强附着力低摩擦系数、化学性质稳定、耐磨损等特点。由FCVA技术产生的特殊无氢结构类钻石膜层可显著延长 各类模具工具、部件的使用寿命，并大幅降低生产维护成本，从而显著提高产能。
| 系统配置 | TAC-ONTM | DLC |
|---|---|---|
| 钻石成分(%) | ~85 | ~25 |
| 密度(g/cm3) | ~3.3 | ~2 |
| 硬度(GPa) | ~40 | ~15 |
| 磨耗率(mm3/Nm) | <1.0x10-8 | <8x10-8 |
| 摩擦系数 | ~0.1 | ~0.14 |
| 镀膜温度(℃) | <80 | ~200 |
| 工作温度 (02 <10ppm,℃) | ~800 | ~500 |
| 典型厚度(nm) | ~1200 | ~2000 |
| 镀膜真空度 (Torr) | ~10-5 | ~10-2 |
| 镀膜粒子能量(eV) | ~100 | ~5 |
